Kinney凱尼KC&KTC型雙級滑閥真空泵是機(jī)械式真空泵中可獲得最低壓力的泵，推薦應(yīng)用于工作壓力低于0.1Torr(0.13mbar)的工況。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品都配置可調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn)閥，可以處理含水蒸氣或其他蒸汽的介質(zhì)。KC&KTC滑閥泵都是風(fēng)冷系統(tǒng)，除了KTC-112滑閥泵是水冷系統(tǒng)(風(fēng)冷系統(tǒng)可供選擇)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：采用三聯(lián)滑閥設(shè)計(jì)確保泵自身動態(tài)平衡；滑閥與泵腔之間充滿了油且沒有金屬與金屬間的接觸；該系列雙級滑閥泵特別可靠和經(jīng)久耐用。

典型應(yīng)用：制冷系統(tǒng)排氣、液態(tài)氣體儲存、制動液加液系統(tǒng)、低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)，硅晶生長、泄漏檢測

型號：

KC-5，KC-8，KC-15，KTC-21，KTC-60, KTC-112